怎么維修Leybold分子泵？求解答

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。 全文

現(xiàn)在Edwards真空分子泵機(jī)組的使用頻率很高，這款泵的使用，在應(yīng)用了以后是可以利用高速旋轉(zhuǎn)的方式，將氣體分子進(jìn)行合適的輸送，而且也可以保證定向的速度，進(jìn)行的氣體壓縮和排放的效率都會(huì)提高很多，增加真空.. 全文

真空泵達(dá)不到極限壓強(qiáng)原因及處理措施測量方式或規(guī)管不合適——使用正確的測量方法及規(guī)管/在泵的進(jìn)氣口處直接測量真空度防返油閥失效——維修防返油閥排氣閥故障——維修排氣閥真空泵油不合適——換油（必要時(shí)對(duì)油脫.. 全文

愛德華分子泵維修低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文