維修Edwards真空分子泵維修要注意什么？ 幫忙解答一下
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  • Edwards真空分子泵維修的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
  • Edwards真空分子泵維修不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。
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