維修Edwards二手分子泵要注意哪些細(xì)節(jié)？ 幫忙解答一下
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  • Edwards二手分子泵每次停機(jī)后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。
  • 當(dāng)Edwards二手分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
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