請問：愛德華分子泵維修維修有哪些是需要注意的？ 感謝回答
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  • 愛德華分子泵維修不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵
  • 當(dāng)愛德華分子泵維修未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進行處理。
  • 當(dāng)愛德華分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
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