求幫助！愛德華分子泵控制器維修要注意什么內(nèi)容？ 感謝回答

磁懸浮分子泵技術(shù)檢測(cè)：保障真空的精密守護(hù)磁懸浮分子泵憑借無(wú)接觸磁軸承技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超高真空、超長(zhǎng)壽命和超低振動(dòng)噪聲等性能。然而，其精密的磁懸浮控制系統(tǒng)和高速旋轉(zhuǎn)葉輪（轉(zhuǎn)速常達(dá)數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘）對(duì)運(yùn)行狀態(tài)極.. 全文

愛德華分子泵控制器低振動(dòng)：磁懸浮意味著無(wú)摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

空氣過濾器阻塞。清潔并更換空氣濾芯。葉片磨損變形。更換葉片。排氣過濾器阻塞。更換新排氣過濾器。 全文

Edwards真空分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不.. 全文