麻煩請(qǐng)教各位！愛德華分子泵維修有什么特點(diǎn)？

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

渦輪分子泵（TMP）的價(jià)格范圍相當(dāng)大，受多種關(guān)鍵因素影響，無(wú)法給出單一價(jià)格點(diǎn)。以下價(jià)格影響因素：1.抽速：這是決定價(jià)格的首要因素。抽速越大，泵的結(jié)構(gòu)越復(fù)雜（更多級(jí)葉輪/定片），制造精度要求越高，材料成.. 全文

真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

Edwards二手分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵 全文