Pfeiffer真空泵維修保養(yǎng)的豐富，哪位大神能告訴我？

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Edwards進(jìn)口分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不.. 全文

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