愛德華分子泵控制器的故障怎么解決？ 知道的請回答
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  • 愛德華分子泵控制器在運轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解決方法：檢查系統(tǒng)
  • 愛德華分子泵控制器中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？ 原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。
  • 真空度很好的情況下，愛德華分子泵控制器油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池
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