誰(shuí)能幫助我！Edwards真空分子泵維修的特點(diǎn)有哪些？

對(duì)于高真空/超高真空系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后，系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來(lái)越大，而此時(shí)氫氣的返流也越來(lái)越明顯，因此此時(shí)分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對(duì)氫氣的壓縮.. 全文

磁懸浮分子泵的過(guò)載保護(hù)方法?：對(duì)于磁懸浮分子泵，可以通過(guò)獲取電流參數(shù)和轉(zhuǎn)速參數(shù)，計(jì)算當(dāng)前渦輪溫度，根據(jù)溫度確定穩(wěn)定轉(zhuǎn)速，從而控制分子泵的運(yùn)行。這種方法可以防止電機(jī)、渦輪、泵體過(guò)溫，保護(hù)磁懸浮分子泵的運(yùn).. 全文

分子泵無(wú)法直接將氣體壓縮到常壓，即無(wú)法直接對(duì)大氣排氣?；诜肿颖玫墓ぷ髟?，在開(kāi)啟分子泵前必須配置一臺(tái)輔助前級(jí)泵。 全文

當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒(méi)有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文