ITO膜膜厚測試儀是使用哪種測量原理？

ITO膜膜厚測試儀主要采用的是光學(xué)干涉的測量原理。這一原理基于光波在薄膜上的反射和干涉現(xiàn)象。當(dāng)光束照射到ITO膜表面時，由于入射介質(zhì)、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數(shù)值，使得光束在透明或半透明薄膜的上下表面發(fā)生反射。這些反射光波會相互干涉，形成干涉光。具體來說，當(dāng)膜層上下表面的反射光被儀器接收時，它們之間的相位差會因為薄膜的厚度不同而有所變化。這種相位差的變化會導(dǎo)致反射光的強度發(fā)生變化。當(dāng)相位差為波長的整數(shù)倍時，反射光會發(fā)生建設(shè)性疊加，此時反射率最大；而當(dāng)相位差為半波長時，反射光則會發(fā)生破壞性疊加，反射率最低。ITO膜膜厚測試儀通過測量這種反射光強度的變化，并結(jié)合已知的光學(xué)參數(shù)（如折射率、消光系數(shù)等），可以推導(dǎo)出薄膜的厚度。這一過程通常需要使用復(fù)雜的算法和光學(xué)模型，以確保測量的準(zhǔn)確性和精度?？偟膩碚f，ITO膜膜厚測試儀的測量原理是基于光學(xué)干涉現(xiàn)象，通過測量反射光強度的變化來推算出薄膜的厚度。這種測量方法具有高精度、高可靠性等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于各種薄膜材料的厚度測量中。