高真空分子泵工作原理

高真空分子泵的工作原理主要基于氣體分子的動量傳遞，其詳細過程如下： 分子泵的部件是高速旋轉的葉片（轉子），這些葉片與定子之間形成微小的間隙。當轉子的轉速達到每分鐘數(shù)萬轉的級別時，會產(chǎn)生強大的離心力場和牽引力場。此時進入氣隙的氣體分子會與快速運動的葉輪發(fā)生碰撞并獲得動量，沿著葉的螺旋槽道被加速并導向排氣口方向運動；同時受離心力的作用向四周擴散而被壓縮并從出口排出。這一過程中會發(fā)生多次碰撞、吸附及解吸作用使得大量動能轉化為內(nèi)能或勢能而終消耗掉從而使氣體的壓力降低達到抽氣的目的。由于多級結構的設計每一級都進一步降低了系統(tǒng)的壓強直至實現(xiàn)所需的超高真空度通常可達到10^-9Torr甚至更低水平范圍。