渦輪分子泵使用方法

渦輪分子泵是一種高真空獲取設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、科研等領(lǐng)域。正確使用可延長泵體壽命并確保性能穩(wěn)定，操作流程如下：一、安裝與準(zhǔn)備 1. 安裝環(huán)境需干燥、無塵，避免振動源，泵體垂直固定于平穩(wěn)基座。 2. 連接前級機(jī)械泵（如旋片泵），確保管路密封性，使用金屬波紋管減少振動傳導(dǎo)。 3. 檢查泵體油位（若為油潤滑型）或軸承狀態(tài)（無油磁懸浮型），冷卻水管路需通暢。二、啟動與運(yùn)行 1. 先啟動前級泵，待系統(tǒng)真空度達(dá)到10-100Pa范圍后（具體參照說明書），再啟動渦輪分子泵電源。 2. 低速預(yù)熱：部分型號需在低轉(zhuǎn)速（如20%額定轉(zhuǎn)速）運(yùn)行5-10分鐘，避免熱應(yīng)力損傷轉(zhuǎn)子。 3. 逐步升至全速，通過控制面板監(jiān)控轉(zhuǎn)速、溫度及振動值，正常運(yùn)行時噪音應(yīng)平穩(wěn)無異常。三、使用注意事項 1. 禁止帶載啟動：必須在前級真空達(dá)標(biāo)后通電，防止高速葉片承受過大氣體阻力。 2. 防顆粒物吸入：入口處加裝金屬濾網(wǎng)，避免塵?；蛩樾甲矒艮D(zhuǎn)子導(dǎo)致動平衡失效。 3. 溫度控制：持續(xù)運(yùn)行需確保水冷系統(tǒng)有效，殼體溫度建議低于60℃。 4. 防返油設(shè)計：停機(jī)時前級泵應(yīng)延遲關(guān)閉，防止機(jī)械泵油蒸汽倒灌污染泵腔。四、關(guān)機(jī)與維護(hù) 1. 停機(jī)順序：先關(guān)閉分子泵電源，待轉(zhuǎn)速歸零后（約10-30分鐘）再關(guān)前級泵。 2. 若長期停用，需充入干燥氮氣保持泵內(nèi)清潔，每月通電低速運(yùn)轉(zhuǎn)一次防止軸承卡滯。 3. 定期檢查軸承潤滑狀態(tài)（每2000小時），更換磨損密封圈，使用檢漏儀排查氣密性。安全提示：運(yùn)轉(zhuǎn)時禁止觸碰泵體，高速轉(zhuǎn)子（通常數(shù)萬轉(zhuǎn)/分）意外接觸可能造成嚴(yán)害。突發(fā)停電需立即關(guān)閉電?純?，避免道_指詞弊遠(yuǎn)仄羲鴰瞪璞?。遵循甚r齬娉炭扇繁Ｎ新址腫穎夢榷ㄔ誦校驕倜紗?3-5年以上。