潽拓光電:分子泵返油處理
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  • 返油現(xiàn)象是指分子泵在運(yùn)行或停機(jī)過程中,其內(nèi)部的潤滑油(或潤滑脂)蒸氣、微小液滴或裂解產(chǎn)物逆向擴(kuò)散或倒流回被抽真空腔室的現(xiàn)象。這會(huì)造成腔室、樣品或工件的嚴(yán)重污染,尤其在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、表面分析等高潔凈領(lǐng)域危害極大。

    返油主要原因:

    1.油擴(kuò)散與反擴(kuò)散:高溫下泵油蒸氣會(huì)向真空度更高的腔室方向擴(kuò)散。

    2.溫度梯度與重力:停機(jī)冷卻時(shí),泵體溫度下降快于泵芯,內(nèi)部油蒸氣冷凝回流;重力作用使液態(tài)油流向低溫、低處。

    3.閥門密封不嚴(yán):泵入口隔離閥關(guān)閉不嚴(yán)或存在微小泄漏。

    4.泵體設(shè)計(jì)/狀態(tài):某些泵型或維護(hù)不良的泵(如油位過高、油質(zhì)劣化)返油率更高。

    返油是分子泵應(yīng)用中的重大風(fēng)險(xiǎn)。處理在于快速隔離、清潔、嚴(yán)格驗(yàn)證。建立完善的預(yù)防性維護(hù)制度和規(guī)范操作流程,是減少返油發(fā)生及其損失的根本之道。

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