返油現(xiàn)象是指分子泵在運(yùn)行或停機(jī)過程中,其內(nèi)部的潤滑油(或潤滑脂)蒸氣、微小液滴或裂解產(chǎn)物逆向擴(kuò)散或倒流回被抽真空腔室的現(xiàn)象。這會(huì)造成腔室、樣品或工件的嚴(yán)重污染,尤其在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、表面分析等高潔凈領(lǐng)域危害極大。
返油主要原因:
1.油擴(kuò)散與反擴(kuò)散:高溫下泵油蒸氣會(huì)向真空度更高的腔室方向擴(kuò)散。
2.溫度梯度與重力:停機(jī)冷卻時(shí),泵體溫度下降快于泵芯,內(nèi)部油蒸氣冷凝回流;重力作用使液態(tài)油流向低溫、低處。
3.閥門密封不嚴(yán):泵入口隔離閥關(guān)閉不嚴(yán)或存在微小泄漏。
4.泵體設(shè)計(jì)/狀態(tài):某些泵型或維護(hù)不良的泵(如油位過高、油質(zhì)劣化)返油率更高。
返油是分子泵應(yīng)用中的重大風(fēng)險(xiǎn)。處理在于快速隔離、清潔、嚴(yán)格驗(yàn)證。建立完善的預(yù)防性維護(hù)制度和規(guī)范操作流程,是減少返油發(fā)生及其損失的根本之道。
哪位知道Edwards二手分子泵有哪些性能?
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在線的各位知道嗎,Edwards進(jìn)口分子泵發(fā)生故障怎么辦?
Edwards進(jìn)口分子泵軸承為什么會(huì)燒毀 原因:①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過熱③沒有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵 解決方法:①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵 全文
問一下:二手萊寶分子泵的工作原理是什么?
LEYBOLD在世界上四個(gè)國家設(shè)有工廠,每家工廠各自生產(chǎn)不同系列的真空元部件。其中有位于:德國的科隆,公司總部所在地,幾乎生產(chǎn)所有系列的產(chǎn)品,包括二手萊寶分子泵 全文
哪位大仙,急急急!進(jìn)口萊寶分子泵怎么保養(yǎng)?
進(jìn)口萊寶分子泵設(shè)計(jì)簡單,體積輕巧,單段油回旋旋片式真空泵;萊寶單級旋片真空泵,高真空度極限壓力0.08mbar,功率4kw 全文
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