潽拓光電:分子泵負(fù)載太大
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  • 分子泵負(fù)載過(guò)大(過(guò)載)是一個(gè)嚴(yán)重問(wèn)題,會(huì)導(dǎo)致泵體過(guò)熱、異常噪音、振動(dòng)加劇,終可能損壞昂貴的分子泵轉(zhuǎn)子軸承或電機(jī)。

    分子泵負(fù)載過(guò)大是系統(tǒng)發(fā)出的危險(xiǎn)信號(hào)。前級(jí)真空不足和軸承潤(rùn)滑失效是常見誘因。必須立即停機(jī),遵循從系統(tǒng)(前級(jí)真空、泄漏、工藝氣體)到泵本體(潤(rùn)滑、冷卻、機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng))再到電氣控制(驅(qū)動(dòng)器、電機(jī))的排查順序,由簡(jiǎn)入繁。忽視此問(wèn)題將導(dǎo)致分子泵部件(轉(zhuǎn)子、軸承)的災(zāi)難性損壞,造成高昂的維修費(fèi)用和停機(jī)損失。安全操作和及時(shí)維護(hù)是預(yù)防的關(guān)鍵。

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