




檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。用于電廠檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。

氦氣是較輕的惰性氣體,在噴出時會自動上升,為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦,使用此方法時噴氦自上而下,由近至遠(yuǎn)(相對檢漏儀的位置),這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入;質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法,如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實用,檢測到微漏的氦質(zhì)譜檢漏儀成為了化工廠安全生產(chǎn)作業(yè)的保障。

消費者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價值,在我國更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持,因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢更保證了我國產(chǎn)品漏問題檢查的質(zhì)量。檢漏儀全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,家電行業(yè)氦檢漏廠商,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,


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