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氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的發(fā)現(xiàn)。其原理是利用氣體分子在壓力差或電磁場的作用下通過固體表面時(shí)產(chǎn)生的離子化現(xiàn)象進(jìn)行質(zhì)量分析，從而實(shí)現(xiàn)對特定氣體的定量測量和定位定位。該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍非常廣泛，涉及到航空航天、裝備維修保障、核工業(yè)裝置檢驗(yàn)監(jiān)測等多個(gè)領(lǐng)域，對于保證產(chǎn)品的可靠性和安全性具有重要意義。同時(shí)它也為民用產(chǎn)品如汽車制造等領(lǐng)域提供了可靠的解決方案。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動(dòng)的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會(huì)從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學(xué)信號或者叫作粒子束，通過測量這個(gè)聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測定，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個(gè)密封件是否有缺陷。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，利用了氦氣的流動(dòng)性和質(zhì)量大于氮?dú)?、氧氣等氣體這一特性。該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，真空箱氦檢漏系統(tǒng)，對于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測出來（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對測試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)試驗(yàn)過程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測樣品放出的低頻成分來校正測量結(jié)果而且還能使儀表具有自動(dòng)反吸功能。
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