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聚光鏡處在電子的下方,一般由2~3級(jí)組成,從上至下依次稱為、第2聚光鏡(以C1 和C2表示)。關(guān)于電磁透鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理已經(jīng)在上一節(jié)中介紹,電鏡中設(shè)置聚光鏡的用途是將電子發(fā)射出來(lái)的電子束流會(huì)聚成亮度均勻且照射范圍可調(diào)的光斑,投射在下面的樣品上。C1和C2的結(jié)構(gòu)相似,葉綠體電鏡測(cè)試服務(wù),但極靴形狀和工作電流不同,所以形成的磁場(chǎng)強(qiáng)度和用也不相同。C1為強(qiáng)磁場(chǎng)透鏡,C2為弱磁場(chǎng)透鏡,各級(jí)聚光鏡組合在一起使用,可以調(diào)節(jié)照明束斑的直徑大小,從而改變了照明亮度的強(qiáng)弱,在電鏡操縱面板上一般都設(shè)有對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)旋扭。

掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過(guò)聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過(guò)后一級(jí)帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號(hào)。此時(shí),電子信號(hào)會(huì)被樣品上方不同信號(hào)的探頭接收,通過(guò)放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時(shí)成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來(lái)的電子信號(hào)有:俄歇電子(Au E)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號(hào)的用途因作用深度而異。

電子能量損失光譜儀通常在光譜模式和圖像模式上操作,這樣就可以隔離或者排除特定的散射電子束。由于在許多圖像中,非彈性散射電子束包含了許多操作者不關(guān)心的信息,從而降低了有用信息的可觀測(cè)性。這樣,電子能量損失光譜學(xué)技術(shù)可以通過(guò)排除不需要的電子束有效提高亮場(chǎng)觀測(cè)圖像與暗場(chǎng)觀測(cè)圖像的對(duì)比度。

晶體結(jié)構(gòu)可以通過(guò)高分辨率透射電子顯微鏡來(lái)研究,這種技術(shù)也被稱為相襯顯微技術(shù)。當(dāng)使用場(chǎng)發(fā)射電子源的時(shí)候,觀測(cè)圖像通過(guò)由電子與樣品相互作用導(dǎo)致的電子波相位的差別重構(gòu)得出。然而由于圖像還依賴于射在屏幕上的電子的數(shù)量,對(duì)相襯圖像的識(shí)別更加復(fù)雜。然而,這種成像方法的優(yōu)勢(shì)在于可以提供有關(guān)樣品的更多信息。

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